ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ

Journal: Bulletin of Cherkasy State Technological University (Vol.1, No. 1)

Publication Date: 2018-04-19

Authors : С. Петренко; О. Новаковський; Віктор Антонюк; Є. Скорина; Юлія Бондаренко;

Page : 5-13

Keywords : ;

Source : Download Find it from : Google Scholar

Abstract

У статті коротко розглянуті особливості проведення дослідження мікрогеометрії і поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки із застосуванням методу АСМ. Показано переваги та обмеження застосування цього методу для дослідження поверхні і поверхневих властивостей діелектриків.

Main Menu

Searching By

PARTNERS

ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ

Abstract

Advertisement