ResearchBib Share Your Research, Maximize Your Social Impacts
Sign for Notice Everyday Sign up >> Login

ПОКРАЩЕННЯ ЯКОСТІ ОПТИЧНИХ ПОВЕРХОНЬ ЕЛЕМЕНТНОЇ БАЗИ ІНФОРМАЦІЙНИХ СИСТЕМ МЕТОДОМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ МІКРООБРОБКИ

Journal: Bulletin of Cherkasy State Technological University (Vol.1, No. 16)

Publication Date:

Authors : ; ; ; ; ;

Page : 35-44

Keywords : тонкі металеві плівки; адгезійна міцність; поверхневий шар; електронно-променева обробка; силікатне скло;

Source : Download Find it from : Google Scholarexternal

Abstract

В роботі наведено результати електронно-променевої мікрообробки оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем, що доводять покращення їх якісних характеристик (зменшення мікрошорсткості та мікронапруження у поверхневому шарі матеріалу, структурної та хімічної стабілізації у дефектному і тріщиноподібному шарах, керована зміна адгезійними властивостями поверхні матеріалу тощо). Розглянуто структурні та хімічні перетворення, які виникають на поверхні та у приповерхневому шарі оптичного матеріалу внаслідок такої мікрообробки. Встановлено технологічні режими електронно-променевої мікрообробки оптичного скла, при яких відбувається якісне покращення поверхонь оптичних елементів, що приводить до підвищення експлуатаційних показників та показників надійності цих елементів. Показано перспективу використання методу електронно-променевої мікрообробки оптичних елементів при виготовленні, удосконаленні та оновленні елементної бази сучасних інформаційних систем.

Last modified: 2023-04-14 23:10:15