Визначення швидкостi поверхневої рекомбiнацiї i її впливу на час життя нерiвноважних носiїв заряду

Вимiрювання структурно чутливих електрофiзичних параметрiв дозволяє визначити якiсть матерiалiв для створення напiвпровiдникових пристроїв. У данiй роботi розглянута теорiя впливу швидкостi поверхневої рекомбiнацiї на час життя i довжину дифузiї нерiвноважних носiїв заряду в приповерхневих шарах напiвпровiдникового зразка. Отриманi новi експериментальнi результати параметрiв рекомбiнацiї нерiвноважних носiїв заряду на розробленому вимiрювальному пристрої з урахуванням впливу поверхнi напiвпровiдника.